Användning av nickel och 316L rostfritt stål Filter församlingar Genom yaang.com av Yane Yang

Den fortsatta ökningen av halvledaranordning förfining, och resulterande minskning av linjebredder, kräver renare komponenter hela processgasen leveranssystem. Korrekt utformade hög renhet gasfiltersystem aggregat är transparenta för homogena beståndsdelar i gasflödet, det vill säga, att avlägsna föroreningar partiklar utan någon annan effekt på inloppsgas renhet. För att uppnå detta mål, är enheterna som används för att hysa filteranordningar oftast byggda av mjuk, ren och elektro. 316 rostfritt stål

"Smooth and clean" är ett relativt begrepp, vilket kräver tydligare definition . Kravspecifikationer fastställs när prestandagränser för filteraggregat är klart och mätbara. Till exempel är fukt bidrag och ytgrovhet tämligen väl definierad. Emellertid är dessa kriterier baserade på mätningar begränsas av känsligheten hos de bästa tillgängliga instrumenten. För att uppfylla dessa kriterier, de "bästa" tillgängliga råvaror från vilka tillverka komponenter anges ofta. Logiken i att helt enkelt plocka det bästa materialet följer bara om materialet i slutändan uppfyller de avsedda specifikation krav och om filteraggregatet tillverkaren förstå vilka material egenskaper. är styrande

Yaang utvärderar noggrant alla råvaror som används för att tillverka halvledar gasfiltersystem församlingar. Det finns många viktiga egenskaper hos 316L rostfritt stål som måste beaktas vid utformningen av dessa höga renhets församlingar. Typ 316L rostfritt stål är en väl karaktäriserad och förstått legering. Dess goda korrosionsbeständighet är en följd av både noggrann formulering av de viktigaste legeringselement (Fe, Ni, Cr, Mn och Mo), liksom kontroll av kritiska spårbeståndsdelar (C, S och Si). I likhet med andra färdiga komponenter, filteraggregat använder rostfritt stål som har vidare bearbetade, det vill säga, rullade, dragit, bearbetas, eller svetsade.

I dessa fall är det inte tillräckligt att bara ange material kemi. Varje avsedda användningen av rostfritt stål kan medföra lätt modifiering av den grundläggande specifikationen, men de mest specificerade krav som resulterar i en fin, elektro yta är:

  • balanserad 316L kemi Omdömen
  • homogen austenitiska. . mikro

  • mycket få inneslutningar Omdömen
  • fina spannmål struktur

    Material Jämförelse:.. Stainless Steel Bar Omdömen HEAT ID # Omdömen SPEC.- - »N /A Omdömen SA47935439

    TypicalN /A

    VAR Spec.Typ.1ELEMENTAL(%): FeBAL.BAL.BAL.Cr16-1817.116-18Ni10-1412.010-14Mo2-32.12-3Mn2*1.7<2Si1.0*0.45≈0.5C0.03*0.020<0.03S0.03*0.0020≤0.005* = Max

    extra kriterier

    KORN STORLEK-5Not Specified2INCLUSION TYPE Omdömen (ASTM E-45) -NUMBERNUMBERSulfides-0.52.03Alumina-003Silicates-02.53Oxides-1.51.53 1 316L VAR specificerar inte (eller resultera i) kemisk sammansättning som har högre prestanda än SA479 med noterad undantag av minskad svavel Omdömen 2 . Typiskt uppmätta värdena var inom ett fönster på 5-10. Omdömen 3 Inte specificeras. Typiska angivna.

    För att avlägsna mikroskopiska hålrum i smältan, samt att ytterligare rena metallen genom att minska vissa förorenande föroreningar, många högrena rostfria stål genomgår ett sekundärt smältningsprocessen (t.ex. ljusbåge i vakuum Omsmältningsugnar, känd som VAR) . Denna process minskar sulfider, silikater, fosfater, aluminiumoxider, och andra orenheter. Av dessa föroreningar är den mest skadliga för att uppnå fin yta finishe (förutsatt att andra föroreningar ligger inom normalt specificerade gränser)   svavel;. Dessa spårföroreningar tenderar att störa ("break") de stabila austenitiska struktur och form inneslutningar som är mindre ädel än grundmaterialet. När inneslutningar är ovanliga och mycket små i storlek, kan detta inte vara ett problem. När emellertid mycket fina ytor (< 10 mikrotum Ra) önskas, alla inneslutningar att bli uppenbara efter slutlig mekanisk polering eller elektrolytisk polering. Det är av denna anledning som 100X mikroskopisk inspektion efter finmekanisk polering används ofta för att kvantifiera innehåll införandet. Elektro accentuerar ofta defekter i ytan genom att ta bort mindre ädla inneslutningar först via förmåns upplösning.

    kornstruktur måste också beaktas när man väljer hög renhet rostfritt stål. Finkorniga material är att föredra eftersom de tenderar att vara mer homogena. Som korn växer (t.ex. under långsam kylning), det finns mer tid för austenit brytare falla ut vid korngränserna. Detta har effekten av att omvandla en ren förskjutning av strukturen ("friska" korngräns) i ett ställe för inneslutningar. Dessutom finkorniga material leda elektrisk ström jämnare. Enhetlig konduktans är en viktig egenskap under elektropoleringsprocessen

    Källa:. Zhejiang Yaang Pipe Industry Co, Limited (www.yaang.com)